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? 2005 南大光電. All Rights Reserved.
解決方案
七大領域解決方案
IC
離子注入
PH?/H?
B?H?/H?
AsH?/H? 等
CVD
High K前驅體
Low K前驅體
硅前驅體
光刻
光刻膠
CVD腔體清潔
NF?
蝕刻
NF?
化合物半導體
Inp
高純TMIn
高純PH?
高純TMAL
DEZn
DMZn
DETe
Cp?Mg
TESb 等
GaAs
高純TMGa
高純AsH?
高純TMAL
DEZn
DMZn
DETe
Cp?Mg
TESb 等
GaN
高純TMGa
高純TEGa
高純TMAL
高純TMIn
高純Cp?Mg 等
SIC
高純TMAL
InSb/GaSb
高純TMGa
高純TEGa
高純TMAL
高純TMIn
高純TESb等
Ga?O?
高純TMGa
高純TEGa
高純TMAL
高純Cp?Fe等
LED
照明
高純TMGa
高純TEGa
高純TMAL
高純TMIn
高純Cp?Mg等
背光
高純TMGa
高純TEGa
高純TMAL
高純TMIn
高純Cp?Mg等
Micro LED
Micro LED專用高純TMGa
高純TEGa
高純TMAL
高純TMIn
高純Cp?Mg等
光伏
PECVD
TMAL
ALD
高純Cp?Mg
離子注入
PH?/H?
B?H?/H? 等
CVD腔體清潔
NF?
FPD
OLED發光材料
RGB主體材料
OLED通用層材料
摻雜材料
空穴注入材料
空穴傳輸材料
電子注入材料
電子傳輸材料等
CVD腔體清潔
NF?
蝕刻
NF?
SF?
石油化工
聚烯烴催化
倍半乙基氯化鋁
二氯乙基鋁
THA
二乙基氯化鋁
三異丁基鋁
二異丁基氫化鋁
MAO溶液
電力行業
絕緣
SF?
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