光刻膠及配套材料_南大光電

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光刻膠及配套材料

稀釋劑（Thinner）

稀釋劑（Thinner）

中文名：稀釋劑
英文名：Thinner
CAS號：107-98-2 108-65-6
熔點：<-10℃
沸點：121℃~140℃
蒸氣壓：10.9 mm Hg(25℃)
產品等級：UP級、UP-S級
規格：1加侖/200L/11m3槽車

六甲基二硅氮烷（HMDS）

六甲基二硅氮烷（HMDS）

中文名：六甲基二硅氮烷
英文名：Hexamethyldisilazane
CAS號：999-97-3
熔點：-78℃
沸點：125℃
蒸氣壓：20 hPa (20℃)
產品等級：UP-S級
規格：1加侖/200L/11m3槽車

193nm ArF光刻膠

193nm ArF光刻膠

量產籌備中敬請期待
· 193nm ArF光刻膠已通過存儲、邏輯兩家芯片制造企業驗證，成為國內首個通過驗證的ArF光刻膠產品
· 2021年建黨100周年前夕，順利通過國家“02-專項”驗收

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