南大光電具有自主知識產權的TMA自制產品正式下線并圓滿完成首銷,一舉打破了我國在TMA合成方面的長期空白。
南大微電子一期安裝工程主體完工。
南大光電《電子半導體材料(MO源和離子注入氣體)》榮膺2021年 工信部“第六批制造業單項冠軍”。
南大光電“先進光刻膠產品開發與產業化”項目通過驗收。
南大光電與烏蘭察布市合作建設的內蒙古烏蘭察布氟硅電子新材料基地暨南大微電子材料項目開工。
烏蘭察布南大微電子材料有限公司成立。
· 南大光電成為全國首個電子材料民營企業購置193nm浸沒式光刻機,光刻膠產業邁向新階段。
· 光刻膠第二條生產線建成。
光刻膠第一條生產線建成。
南大光電與寧波經濟技術開發區就先進光刻膠原材料及配套材料開發和產業化項目再次簽訂合作協議。
投資并購山東飛源氣體有限公司,進入大宗氟化類電子特氣領域。
南大光電半導體材料有限公司成立。
· 獲得國家“02-專項”ArF光刻膠開發和產業化項目立項。
· 同期,年產170噸MO源和高K三甲基鋁項目落地全椒,籌備成立南大光電半導體材料有限公司。
與寧波經濟技術開發區簽訂投資協議,注冊成立“寧波南大光電材料有限公司”,負 責“02-專項”ArF光刻膠開發和產業化項目落地實施。
· 獲國家“02-專項”193nm 光刻膠及配套材料關鍵技術的開發項目立項。
· 建成8條ALD/CVD前驅體系列產品生產線,已有部分產品通過知名客戶驗證并具備批量供貨能力。
· 引進高K三甲基鋁先進生產線。
公司召開2016年度股東大會,選舉產生了公司第七屆董事會,正式進入“二次創業”期。
承擔國家“02-專項”ALD金屬有機前驅體產品的開發和安全離子注入產品開發項目。
全椒南大光電材料有限公司成立。
獲國家“02-專項”高純特種電子氣體研發與產業化項目立項支持,啟動極大規模集成電路砷烷、磷烷等特種氣體的研發工作,用3年時間攻克了國內30年未能解決的課題。
南大光電在深交所創業板上市。
MO源產品被列為“國家重點新產品”。
MO源項目被國家計委列為“高技術產業化示范工程光電子專項項目(MO源)”。
高純金屬有機化合物(MO源)獲得科技部頒發的“國家級火炬計劃項目證書”。
12月28日,江蘇南大光電材料股份有限公司正式注冊成立。
“高純金屬有機化合物(MO源)光電子材料的支撐原材料”課題獲國家教委“科 技進步二等獎”。
南大MO源研究課題組被國家科技部提升為國家級研發中心并命名為“國家‘863計劃’新材料MO源研究開發中心”。
課題開發取得突破性進展,研制出高純三甲基銻產品
公司創始人孫祥禎教授的“MO源研究課題”納入國家“863計劃”